일본 화학업체인 모리타(森田)화학공업이 반 년 만에 우리나라로 고순도 불화수소를 수출한다고 일본 니혼게이자이 신문이 보도했다.
신문에 따르면, 모리타화학공업은 일본 정부의 허가를 받아 한국으로 수출할 액체 고순도 불화수소를 지난 8일 출하했다. 일본 정부가 주요 소재·부품·장비의 한국 수출 길을 막은 지 반년만의 일이다.
불화수소는 반도체 제작 과정에서 불순물을 제거하는 기능을 하는 물질이다. 모리타는 지난해 중반까지 삼성전자, SK하이닉스 등에 불화수소를 공급해왔다. 지난해 8월에도 일본업체 스텔라케미화학이 한국에 대한 불화수소 수출을 허가받은 바 있다.
닛케이는 듀폰이 한국에 포토레지스트 생산 시설을 구축하기로 했다는 사실도 함께 전하며 “듀폰과 같은 움직임이 늘어나면 일본 기업의 경쟁력에 영향을 줄 수도 있다”고 전망했다. 세계적 화학업체인 듀폰은 반도체 핵심 소재인 극자외선용 포토레지스트 생산 공장을 한국에 건설한다고 9일 발표한 바 있다. 이르면 내년부터 국내 업체는 일본 업체에 기대지 않고도 듀폰을 통해 국내에서 소재 조달이 가능해진다. 포토레지스트는 반도체 기판 위에 패턴을 형성하는 공정에 사용되는 소재다. 모리타 야스오(森田康夫) 모리타화학 사장도 지난해 “(수출 규제가 강화되면) 일본 기업의 점유율이 낮아질 수 있다”고 우려한 적이 있다.
일본 정부는 수출 규제를 강화한 후 포토레지스트, 플루오린 폴리이미드, 기체 불화수소에 대해 각 1건 이상의 허가를 한 상태다.
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